
中科大前副院長朱士堯的這段話最早出現在2021年2月的一次媒體採訪中,當時他直言頂尖光刻設備需要全球多國技術拼湊,單靠美國不行,中國也辦不到。
這話在當時就引起波瀾,因爲中美科技摩擦正熱,美國從2019年起就推動荷蘭限制對華出口先進設備。
朱士堯作爲物理學專家,基於多年經驗指出,光刻機不是簡單組裝,而是精密到納米級的系統工程。
採訪視頻在網上流傳,科技論壇上很多人覺得這話太絕對,但也有人認可這是對現實的直白描述。2024年9月,這段舊訪談被重新剪輯發佈,又一次刷屏,播放量上百萬。

朱士堯的言論背景是半導體產業鏈的複雜性,他強調阿斯麥公司主導的極紫外機型,核心部件散佈在多國企業手裏。荷蘭阿斯麥成立於1984年,但它更像供應鏈協調者,而不是全能製造商。
2013年,阿斯麥花25億美元收購美國賽默公司,就是爲了鎖定光源技術。可賽默的錫滴生成系統,還得靠德國企業優化。
朱士堯說這話時,正值2021年美國加強出口管制,中國企業採購設備受阻。訪談中他沒細聊中國進展,但點出美國硅谷企業也依賴進口光學部件,無法閉環生產。
網上討論中,有人誤讀成否定一切努力,其實他針對的是高端機型的獨立製造。

光刻機的難點在於突破物理極限,比如極紫外光源得用激光轟擊直徑30微米的錫滴,每秒處理5萬次,產生13.5納米波長光線。這套系統精度高到頭髮絲萬分之一,稍有偏差就廢。
德國蔡司負責反射鏡,從1990年代起和阿斯麥合作,2012年纔出首套量產組。阿斯麥2016年投資10億歐元買蔡司股份,就是防斷供。
朱士堯的觀點基於此,美國有激光技術,但光學和精密機械得從歐洲拿,沒法單幹。中國起步晚,早期全靠進口,但從2010年代末開始轉向自研中低端設備,避免直接硬碰高端壁壘。
中國選擇從深紫外光刻機切入,上海微電子公司是主力,已實現90納米機型的批量生產。2024年,這家公司推進28納米浸沒式設備測試,中芯國際參與優化參數,確保良率穩定。

朱士堯的話被翻出時,正好趕上這些進展曝光,有人拿來對比,說不是永遠不可能,只是時間問題。
阿斯麥的客戶投資計劃從2012年起,拉來英特爾、三星和臺灣地區企業臺積電出資50億歐元,換優先供貨。這筆錢幫阿斯麥綁緊供應商,形成閉環。
中國企業沒法直接加入,但通過本土研發,逐步蠶食市場份額。訪談爭議中,專家們補充,美國早期也試過獨立項目,但轉向國際合作。
高端光刻膠是另一個卡點,日本企業如信越化學壟斷供應,美國企業也得進口。中國從2020年起加大投入,2025年實現28納米級光刻膠量產,雖然距離極紫外還有差距,但已能支撐汽車芯片生產。

朱士堯強調的全球協作,在現實中體現爲供應鏈脆弱性,2023年美國管制擴展到深紫外機型,荷蘭跟進限制。
中國反擊是建本土鏈條,哈爾濱工業大學團隊2025年攻克極紫外光源原型,使用激光等離子方法輸出功率。阿斯麥一臺機重180噸,含10萬零件,中國從部件起步,避免大躍進式失誤。這路子慢,但穩紮穩打。
德國通快公司獨供高能激光器,一臺價值幾千萬歐元,只給阿斯麥。朱士堯的話提醒大家,別忽略這些壟斷環節,美國想複製也得拉盟友。
中國福晶科技在激光晶體上佔全球六成份額,已成阿斯麥供應商,這點讓本土企業有立足之地。2025年底,上海微電子中標政府項目,推出新機型填補空白。
訪談被熱議後,政策層面加大資金傾斜,工信部2024年目錄列出國產設備,鼓勵企業驗證。阿斯麥的聯盟模式讓美國企業受益,但也暴露依賴性,中國藉此機會追趕中端市場。

光刻機不是速成品,朱士堯的表達基於物理規律,他說美國造不出,是指脫離協作體系。2026年初,相關討論還在繼續,中國企業報告顯示,28納米機已批量出貨,良率超九成。
臺灣地區企業臺積電依賴阿斯麥,但中國大陸從中低端積累經驗,避免直接對抗。哈爾濱團隊的光源突破,用固態激光擊打錫滴,加高壓電生成等離子,功率達百瓦級。
這步子雖小,但連成鏈條就能挑戰壟斷。朱士堯退休後仍參與諮詢,他的觀點推動行業反思路徑選擇。
中國在光學系統上也有動作,2025年專利顯示,新材料用於反射鏡,提高反射率到七成。阿斯麥從2010年原型到2019年商用,花了17年,中國從2019年加速,預計2028年見高端原型。
朱士堯的話像一面鏡子,照出差距,也照出潛力。美國智庫評估,中國落後幾代,但追趕速度快。

精密工件臺是中國弱項,但通過德國技術引進,已在90納米級實現定位精度。訪談爭議平息後,焦點轉到實際交付,企業們在潔淨室裏調試設備,積累數據。
全球半導體格局在變,2025年荷蘭進一步限售,中國轉向自給。朱士堯的言論被視爲清醒劑,提醒別情緒化,而是尊重規律。福晶科技的晶體供應,讓中國在材料端有話語權。
上海微電子擴產獲批,產能翻倍。阿斯麥依賴多國專利,中國申請量激增,覆蓋光源和膠材。訪談後,青年工程師增多,專業報名上升。這場討論,最終導向自強路徑。
光刻機研發像長跑,朱士堯指出起點差距大,美國也非全能。中國從中端切入,2024年測試28納米機,2025年交付多臺。哈爾濱光源中心波長精準,滿足基本需求。

阿斯麥的鐵三角聯盟,美德荷分工明確,中國探索新組合,如本土激光和光學整合。訪談被國際媒體報道,稱反映心態轉變。企業沒停步,持續優化良率。
朱士堯的話針對極紫外機型,強調單國難成。中國供應鏈在完善,2026年有新專利曝光,涉及多層膜鏡子。
阿斯麥研發耗資巨大,中國投入數百億,見效漸顯。訪談推動資金傾斜,成果陸續出爐。全球協作是現實,但中國正打破部分壟斷。
中國光刻進展在加速,2025年突破多項部件,朱士堯的觀點被視爲歷史註腳。企業驗證設備,市場佔有率升。阿斯麥壟斷源於積累,中國從基礎追起。訪談後,行業更注重協作,避免孤立。
高端設備需時間,中國已走上軌道,朱士堯的話激發動力。2026年,更多測試新聞曝光,差距縮小。




