這幾年ASML日子越來越不好過了。2023年初，美國一輪接一輪推出口管制，荷蘭政府跟着收緊對華銷售政策，ASML前老闆彼得·溫寧克在財報會上就直說，這種管制反而會逼着中國自己搞出東西來。
那時候中國市場佔ASML銷售額15%左右，三季度直接衝到46%，簡直是他們的搖錢樹。溫寧克後來好幾次公開講，政治干預只會把行業拖後腿，中國有人才有錢，早晚找到路子走。
管制風聲一出來，中國客戶立馬開始瘋狂下單，能買的深紫外機型全囤上，ASML短期訂單爆棚，2023年全年中國銷售額佔比29%，2024年直接幹到36%以上，前三季度光刻機銷售裏中國佔了41%。
這波操作讓ASML賺得盆滿鉢滿，但大家心裏都清楚，這是最後狂歡。荷蘭從2023年9月1日起，要求最先進的浸潤式DUV機型出口必須申請許可，2024年1月開始，美國又把規則升級，部分老許可直接撤銷，影響NXT:2050i和2100i這些機型發貨。ASML只好承認，先進浸潤式機型基本別想賣到中國了。
彼得·溫寧克退休前還反覆強調，中國對成熟節點的需求超級大，電動車、光伏、消費電子全靠這些芯片，管制擋不住這個市場。
他甚至說，限制服務和備件才真要命，因爲ASML在中國裝了幾千臺機，維護和服務是長期飯票。2024年4月新老闆克里斯托夫·富凱上臺，正趕上壓力最大時候，美國12月又更新規則，荷蘭2025年4月跟進，把更多設備納入許可範圍。
ASML預計2025年中國業務降到20%左右，2026年還會再掉，但他們在北京擴維修中心，死死抓住服務這塊不放。
富凱後來講，中國落後先進技術10-15年，但成熟節點需求穩得一批，短期內ASML還得靠中國喫飯。管制越嚴，中國客戶囤貨越猛，ASML表面風光，內部其實捏把汗，怕哪天連備件和服務都卡死，那纔是真斷糧。
中國這邊呢，高端EUV單機路線被卡得死死的，光源那塊太難，ASML花幾十年才搞定，專利堆成山，短期複製不現實。
大家乾脆換思路，不玩單臺機器了，直接上集中式光源工廠。清華大學從2017年就開始推SSMB-EUV方案，用大環形儲存環產生高功率極紫外光，再通過光束線分給好多臺曝光站用，相當於建個光刻電站，一次性供幾十臺上產線。
2021年清華團隊跟德國合作，在Nature上發了原理驗證，證明激光能精確操控電子束，形成穩態微聚束，產生高重複率相干輻射。2022年又發綜述，說這方案功率能上千瓦，遠超ASML單機250瓦上限。
整個思路就是把最難的光源部分集中解決，下游曝光站簡單多了，成本降一大截，還適合中國搞大基地的那套工程化打法。國際上也認可，跟德國團隊繼續做相位鎖定實驗，確保光束穩穩傳過去。
這路子不是天上掉下來的，中國在同步輻射光源、高鐵、特高壓這些大工程上早玩溜了，系統集成能力強。挑戰當然有，前期錢砸得多，佔地大，建完還得精細運營，但比一家一家複製ASML那種極端小型化光源靠譜多了。
2025年清華在EUV光刻膠上又搞出聚碲氧烷新材料，靈敏度跟國際頂尖看齊，配套慢慢跟上。國家層面把這當重大基礎設施推，選址雄安之類的地方，目標就是千瓦級裝置。
另外幾條路也沒閒着，上海微電子、上海光機所、哈工大這些單位在搞LDP放電等離子體光源，2025年好多地方傳出原理樣機測試，上海微電子9月工博會上直接亮出EUV參數圖，哈工大拿了獎，上海光機所用固體激光繞過二氧化碳激光，轉換效率衝到接近6%。
多路徑一起上，上海微電子計劃2025年Q3試生產，目標2026年量產。整個產業鏈2000多家企業抱團，成本能壓到ASML六成左右。
ASML那邊看在眼裏，急在心裏。富凱2025年講，中國需求比預期強，但2026年肯定大降，因爲客戶把能買的都買完了，再加上管制越收越緊。
短期ASML還賺服務錢，長期呢，中國這條集中式工廠一旦跑通，先進芯片生產就從“買機器”變成“建電站”，規則全變了。ASML壟斷單機模式的日子，怕是要到頭了。
說白了，封鎖把路堵死，反而逼出新路子。中國不硬抄ASML老路，玩系統工程這一套，接地氣又狠。2025年這些樣機、測試、參數圖一出來，ASML股價波動得厲害，高層講話也越來越謹慎。
巨頭慌不慌？數據擺在那，中國市場佔比從36%掉到20%，服務還能撐多久，誰也不知道。反正半導體這盤棋，現在越來越有意思了。
